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EnglishAlternative gate dielectric materials / Van Elshocht S; Hardy A; De Gendt S; Adelmann C; Baumann PK; Brunco; DP; Caymax; M; Conard T; Delugas P; Lehnen P; Richard O; Rohr E; Shamiryan D; Vos R; Witters T; Zimmerman P; Van Bael MK; Mullens J; Meuris M; Heyns M. - In: ECS TRANSACTIONS. - ISSN 1938-5862. - 3:3(2006), pp. 479-497. ((Intervento presentato al convegno 210th Electrochemical Society Meeting tenutosi a Cancun Mexico nel 29 October 2006.
| Titolo: | Alternative gate dielectric materials |
| Autori: | Van Elshocht S; Hardy A; De Gendt S; Adelmann C; Baumann PK; Brunco; DP; Caymax; M; Conard T; Delugas P; Lehnen P; Richard O; Rohr E; Shamiryan D; Vos R; Witters T; Zimmerman P; Van Bael MK; Mullens J; Meuris M; Heyns M |
| Titolo del libro: | Physics and Technology of High-k Gate Dielectrics 4 - 210th Electrochemical Society Meeting |
| Rivista: | |
| Data di pubblicazione: | 2006 |
| Pagina iniziale: | 479 |
| Pagina finale: | 497 |
| Digital Object Identifier (DOI): | 10.1149/1.2355736 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contribution in Conference proceedings |
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http://hdl.handle.net/20.500.11767/33368
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