Alternative gate dielectric materials

DELUGAS, Pietro Davide;
2006

Physics and Technology of High-k Gate Dielectrics 4 - 210th Electrochemical Society Meeting
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479
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Van Elshocht, S; Hardy, A; De Gendt, S; Adelmann, C; Baumann, Pk; Brunco, Dp; Caymax, M; Conard, T; Delugas, Pietro Davide; Lehnen, P; Richard, O; Rohr, E; Shamiryan, D; Vos, R; Witters, T; Zimmerman, P; Van Bael, Mk; Mullens, J; Meuris, M; Heyns, M.
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